開発者に聞く

この記事は日立の広報誌「はいたっく」2007年7月号の 「IT's eye　ラボラトリー・レポート」より転載したものです。

「トンネルアクチュエータ」の技術を適用し、 5ナノメートルの精度を持つ「超精密位置決め装置」を開発

日立研究所

電磁石と永久磁石の間に吸引力がない、新発想のリニアモータとして高い評価を得た「トンネルアクチュエータ」。以前のラボラトリーレポート（2004年11月号）でも詳しくお伝えしたこの技術が、日立と静岡理工科大学との共同研究によって、さらに進化を遂げました。 誤差5nm（ナノメートル）の精度と最大移動速度・毎秒400mm（ミリメートル）の高速動作を実現する「超精密位置決め装置（試作）」の中核技術として、近い将来、精密機器の作業時間短縮や生産性向上に寄与するものと期待されています。 （2007年8月1日掲載）
モータイノベーションセンタ ドライブシステムユニット 主任研究員 工学博士　金 弘中	モータイノベーションセンタ センタ長 工学博士 井出 一正	日立設備エンジニアリング株式会社 日立事業所 FA設計部 制御グループ主任技師　柴田 均
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