開発者に聞く

この記事は日立の広報誌「はいたっく」2004年11月号の 「IT's eye　ラボラトリー・レポート　No.47」より転載したものです。

リニアモーターの弱点をクリアした新発想新型直線駆動装置　「トンネルアクチュエータ」

日立研究所

日立研究所 情報制御第一研究部 研究員　工学博士　金 弘中（キム ホンチュン）

現在の半導体製造装置や工作機械などには、高速な直線駆動を実現する技術としてリニアモーターが使われています。しかし同技術は、精度を高めるには大型で高コストにならざるを得ないため、生産性の向上や微細加工の要求が高まるなか、よりコンパクトで低コストな代替技術が強く求められていました。 そこで日立研究所では、磁極間のトンネル中央に可動子を配置した、まったく新しい直線駆動装置「トンネルアクチュエータ」を開発。シンプルでコンパクトな構造にもかかわらず、世界最高加速度40Gを実現し、業界から大きな期待が寄せられています。 （2004年11月17日掲載） （次ページへ）

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